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東莞市上品機電設備有限公司
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微細加工到大工件的加工適用于以雷射或刀具實施之微細結構的加工，充分利用了小型龍門結構的特性，同樣提供了合理價格的解決方案。
?采用運動特性平順的LMC系列線性馬達
?重現性±2μm
?經過大量實際應用的考驗
雷射掃描 極平滑的運動以及較長使用壽命為選用類似雷射掃描機這樣的光學檢測系統的重要因素。采用空氣軸承方式的線性馬達就可以符合這種需求。
?使用空氣軸承因此沒有摩擦
?完全沒有頓力，因為采用LMC系列線性馬達
?行程可長達1500mm
微米技術及晶圓處理 在微米工程等級的應用以及晶圓設備中尤其重視絕對精度及潔凈室適用性。采用線性馬達高精度XY平臺為最佳選擇。
?行程200 mm x 200 mm， 亦可選購 300 mm x 300 mm
?全行程平面度±4μm
?各軸重現性±1μm
?各軸精度±4μm
客制玻璃加工機臺線性馬達機臺被設計用來承載加工激光頭在平臺上方移動，客戶的加工激光頭用來切割雙層玻璃。
? 同動架構線性馬達定位機臺
?1300mm × 1450mm行程
? 平滑運動，正弦波整流, 無頓力
? 各軸重現性±2μm
高等級的晶圓質量管理、光罩制作晶圓表面的管制以及晶圓或玻璃面板的光罩通常需要采用空氣軸承式的XY平臺，以檢測出極微小的缺陷或制作出高精度的光罩。例如電子業，芯片工業以及平面顯示器業里面都采用這種方式。
?平面度±2μm
?重現性±0.5μm
?精度±1.5μm
平面馬達平面伺服馬達提供了一個最佳的檢測定位解決方案，比方說，印刷電路板PCB的檢測，在馬達可動部上裝置CCD鏡頭拍攝板子上的印刷電路是否完整及SMD組件。
?由于使用非接觸式空氣軸承，幾乎沒有磨耗
?在整個平面上可以達到很好的平面度(最大1000mm平方)
?重現性±3μm
提供客戶運動規劃服務另一AOI光學檢測應用，客戶需求要高性能價格比
? 534mm × 534mm^2行程
? 特殊龍門同動控制
? 鋼材框架
? 集成線路板輸送, PLC, IPC于客戶端
? 次微米級重現性
臥式高速合成材質熱熔接機采用LMX1L系列線性馬達平臺搭配絕對式位置編碼光學尺。
?開電時無須找尋電機角
?由于高加速度，因此在分離合成材質加熱板時不會有牽絲的情形
?以時間力量位置控制熱熔程度
?高速換料
AOI光學檢測整體解決方案下軸采用LMC系列線性馬達使得AOI光學檢測可以達到相當高的平滑運動及優良的取像；上軸利用LMS馬達帶動Z軸的螺桿及CCD鏡頭達到高速運動。
? 重現性±1μm
? 速度漣波小于1.5%
? 提供機臺底座及護蓋之整體解決方案
水刀應用LMS雙動子線性馬達提供2.5m的長行程帶動兩組HIWIN KK模塊做上下Z軸運動。下面兩軸也是采用LMS高推力線性馬達做同步運動。
? 提供整體方案，即插即用
? 大行程
? 含底座，護蓋及高階運動控制器
合理價格的取放及檢測用龍門定位系統X Y龍門架構使得許多應用得以更低的成本來實現，以標準組件構筑而成的龍門定位平臺。
? 采用LMX1L系列的定位軸
? 重現性±2μm
? 可提供含底座
半導體生產裝置的芯片搬運部
